全自動去膠設備
Xtrim-SC-ST300
設備概述
Loadport*4、Multi Chambers、Robot、CDU、e-Flow
設備亮點
功能完備
Nano-Spray、Mega-Sonic、加熱、N2鼓泡、常壓/高壓DIW等基本配置可選。
可根據客戶需要搭配對應的藥水，如NMP/NaOH/ IPA等。
定制化
支持6&8&12 Inch Wafer。
可根據客戶需求進行定制化搭配。
節(jié)約藥液
配置專業(yè)藥液循環(huán)利用、自動補液、藥液控溫及排風、排廢系統；
支持by片數/時間切換recipe，充分延長藥水使用壽命。
污染控制
專業(yè)材質選用：實現對Particle的高效管控；
封閉式的晶圓加工環(huán)境，有效防止化學液霧化及微粒污染。