江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

  • 地址：江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)東吳南路25號城南科技產(chǎn)業(yè)園7幢（2號廠房）

  • 電話：0512-67296032

  • 傳真：0512-67296032

  • 企業(yè)郵箱：sales@js-xm.com.cn

合作熱線

  • 戰(zhàn)略合作：fuxing.wang@js-xm.com.cn

  • 技術(shù)交流：louis.shao@js-xm.com.cn

  • 供應(yīng)鏈合作：sunshine@js-xm.com.cn

單片清洗設(shè)備

全自動單片清洗設(shè)備

Xtrim-SC-CL300

設(shè)備概述

Loadport*4、Multi Chambers、Robot、CDU、e-Flow

設(shè)備亮點

功能完備

  • Nano-Spray、Brush Clean、Mega-Sonic、DIW、N2等基本配置可選。

  • 可根據(jù)客戶需要搭配應(yīng)對的藥水，如O3/DHF/SC1。

節(jié)約藥液

  • 支持藥液回收。

  • 支持多種藥液。

  • 支持by片數(shù)/時間切換recipe，充分延長藥水使用壽命。

標(biāo)準(zhǔn)化模塊組成

  • 設(shè)備由標(biāo)準(zhǔn)化模塊構(gòu)成，組裝高效。

  • 內(nèi)部空間緊湊，節(jié)省空間。

自動化生產(chǎn)

  • Robot自動上下片，Mapping。

  • 可連續(xù)自動化工藝處理。